ALD臭氧发生器使用纯氧作为气源的原因

高浓度臭氧发生器，之所以浓度高，是因为气源为纯氧，浓度可达300mg/L。我们经常会被问到，空气源是否可以使用，这显示是不可以的。

半导体用臭氧发生器必须使用氧气瓶或液氧为气源，才能够达到高浓度的效果，如果使用气源纯度低于90%，会出现以下问题。

1. 电极污染和臭氧产量下降

如果是使用空气作为气源的话，一个主要问题来自空气中的氮含量，特别是一氧化氮，它会在臭氧池电极上形成类似沉积物的涂层。这种沉降损害了臭氧的稳定生产，导致臭氧生产下降。更终，电极需要频繁清洁或更换，这是一个耗时且昂贵的过程。

2. 臭氧浓度下降，溶解效率降低

当使用纯度不够的气源作为原料气时，空气源更为明显，臭氧浓度通常会显着下降。在较小的臭氧发生器中，这种下降可能高达5-7倍，因此几乎不可能将产生的臭氧总量的10%以上溶解在水中。因此，由于空气中的氧气含量较低，实际臭氧的产生量大大减少。例如，当使用干燥空气时，臭氧含量为 10 g/h 的系统可能只能溶解 0.3-0.5 g/h。效率的大幅降低使得使用干燥空气变得不切实际。

3. 成本考虑

如果要用空气源，检测仪选择制氧机，制氧机的成本与空气干燥器的成本相当。因此，使用干燥空气所带来的众多问题抵消了其节省成本的优势。从效率下降到维护成本增加和无效治疗，经济效益并没有加起来。

总之，使用空气源更节省成本，但实际影响却表明并非如此。其缺点包括臭氧生产效率降低、电极沉淀、反应时间较慢和运营成本增加，使用纯氧才是明智的选择。